1、射频等离子体，具有能量密度高、加热强度大、等离子体弧的体积大，由于没有电极，不会因电极蒸发而污染产品。

2、射频等离子体粉末球化技术原理，是在高频电源作用下，惰性气体（如氩气）被电离，形成稳定的高温惰性气体等离子体；形状不规则的原料粉末用运载气体（氮气）经送粉器喷入等离子炬中，粉末颗粒在高温等离子体中吸收大量的热，表面迅速熔化；并以极高的速度进入反应器，在惰性气氛下快速冷却，在表面张力的作用下，冷却凝固成球形粉末；再进入收料室中收集。

组成部分：

1、射频等离子体炬：

整套设备的核心关键技术，具有自主知识产权的技术。采用陶瓷约束管，发散型喷嘴，可在惰性气体、还原、氧化气氛下工作。

2、高频等离子体电源：

功率100KW，频率3.0±0.5MHz.

3、供气送粉系统：

送粉器采用进口产品，将物料输送至等离子体炬内，送粉粒径为10-200μm；供气系统采用精密的浮子流量计（4路），为炬提供工作气体（氩气）。反应室、收集室及支架：反应室与收集室采用双层水冷结构，其材质不锈钢，全部采用真空密封结构；支架采用碳钢喷塑，部分材料采用铝合金材料，坚固稳定安全。

4、抽气系统：

配置为水环式真空泵+机械泵+罗茨泵+调节阀+管道+波纹管等，并进行切换，以维持系统启动与运行需要的负压。极限真空度8×10-2Pa。

5、电气控制及测量系统：

温度、压力测量，过滤器反吹、送粉控制、气体流量调节等。

6、工业冷水机组：

30匹，采用风冷结构，为电源与等离子体炬冷却提供洁净冷却水。

7、反应室与收集室及支架。

1、加热温度高、冷却速度快、无电极污染；

2、反应物料在等离子体中动态分散，可以避免粉体的团聚和长大，适合进行粉体的熔融球化；

3、可以制备钨、钼、Ti、W、WC、氧化铝、氧化硅、氧化锆等高温难熔金属及氧化物粉体；

4、粉末形状规则球化率高，表面光洁，流动性好；粉末致密性和堆积密度增大。